特點(diǎn)? 此光學(xué)系統(tǒng)Z初是為的 FS60 型 (后升級為 FS70 型) 而開發(fā)的。它作為測量檢測半導(dǎo)體器件的顯微鏡是很理想的。? FS70L 支持3 種YAG 激光波長(1064nm,532nm, 355nm)， FS70L4 支持 2 種波長(532nm,266nm)，可在半導(dǎo)體和液晶基板中使用激光切割和薄膜技術(shù)。這就擴(kuò)大了激光的使用范圍。
蘇州勒豐精密儀器有限公司（德日維修部）專業(yè)從事日本三豐，德國馬爾等品牌，以“質(zhì)量*”為宗旨，向范圍的廣大市場提供千分尺，卡尺等量具；三坐標(biāo)測量機(jī)，形狀測量系統(tǒng)，視像測量系統(tǒng)，光學(xué)儀器等系統(tǒng)精密測量儀以及專業(yè)維修服務(wù)中心。公司技術(shù)力量雄厚，多名工程師都是來自世界*的量具生產(chǎn)企業(yè)，配件采用日本*，計(jì)量試驗(yàn)室儀器都是進(jìn)口測量儀器，為客戶解決維修后精度不良的后顧之憂，品質(zhì)服務(wù)由計(jì)量質(zhì)量檢測部門支持并出具相關(guān)維修產(chǎn)品的檢測報(bào)告，并與日本三豐“Mitutoyo”總代理建立有長期穩(wěn)定的合作關(guān)系。是大陸地區(qū)*的量具量儀銷售及維修服務(wù)商之一。
378 系列 — 半導(dǎo)體檢測用顯微鏡
特點(diǎn)
• 此光學(xué)系統(tǒng)zui初是為的 FS60 型 （后升級為 FS70 型） 而開發(fā)的。它作為測量檢測半導(dǎo)體器件的顯微鏡是很理想的。
• FS70L 支持3 種YAG 激光波長（1064nm,532nm, 355nm）， FS70L4 支持 2 種波長（532nm,266nm），可在半導(dǎo)體和液晶基板中使用激光切割和薄膜技術(shù)。這就擴(kuò)大了激光的使用范圍。然而，使用三豐量具對顯微鏡的激光系統(tǒng)的性能和安全性，三豐公司不負(fù)責(zé)任。我們推薦在選購激光發(fā)射器時(shí)應(yīng)仔細(xì)檢查。
• FS70Z 的標(biāo)準(zhǔn)功能有：亮視場，微分干涉對比 （DIC） 和偏振觀測。FS70L 和FS70L4 不支持 DIC。
• 使用內(nèi)置式轉(zhuǎn)換器使得長工作距離物鏡的操作很簡單。
• 極易操作的設(shè)計(jì)：FS70 采用正像光學(xué)系統(tǒng)（視場中的像與樣品方向相同） 并用橡膠把手加大微調(diào)手輪。
短基座型號(hào)FS70-S FS70-THS FS70Z-S FS70Z-THS FS70L-S FS70L-THS FS70L4-S FS70L4-THS
貨號(hào)378-184-2 378-184-4 378-185-2 378-185-4 378-186-2 378-186-4 378-187-2 378-187-4
對焦50mm 行程，同心焦距粗調(diào)（3.8mm/rev） 和微調(diào)（0.1mm/rev） 手輪（左、右）
圖像正像
瞳距Siedentopf 型、調(diào)節(jié)范圍：51 - 76mm
視場數(shù)24
俯角— 0° 至 20° — 0° 至 20° — 0° 至 20° — 0° 至 20°
透過率50/50 100/0 或
0/100
50/50 100/0 或
0/100
100/0 或 0/100 100/0 或 0/100
保持性濾光片— — 內(nèi)置激光射線濾光片內(nèi)置激光射線濾光片
管鏡頭1X 1X - 2X zoom 1X 1X
適用激光— — 1064/532/355nm 532/355nm
相機(jī)端口C-mount （使用適配器B 選件） 使用帶有電視端口的
激光器
C-mount 插座
（帶有綠色濾光片轉(zhuǎn)換開關(guān)）
照明系統(tǒng)、選件亮視場反射照明（科勒照明、帶孔徑光闌）
12V 100W 光纖、無極亮度調(diào)節(jié)、光導(dǎo)長度：1.5m、功耗 150W
物鏡、選件
（用于觀察）
M Plan Apo, M Plan Apo SL, G Plan Apo
物鏡、選件
（用于激光切割）
— M/LCD Plan NIR,
M/LCD Plan NUV
M Plan UV
載重* 14.5kg 13.6kg 14.1kg 13.2kg 14.5kg 13.6kg 14.1kg 13.2kg
重量 （主機(jī)） 6.1kg 7.1kg 6.6kg 7.5kg 6.1kg 7.1kg 6.6kg 7.5kg
* 光管的載重不包括物鏡鏡頭和目鏡的重量
性能參數(shù)
型號(hào)FS70 FS70-TH FS70Z FS70Z-TH FS70L FS70L-TH FS70L4 FS70L4-TH
貨號(hào)378-184-1 378-184-3 378-185-1 378-185-3 378-186-1 378-186-3 378-187-1 378-187-3
技術(shù)參數(shù)
對焦
• 方法: 有同心粗調(diào)和微調(diào)手輪（左和右）
• 范圍: 50mm 測量范圍
微調(diào)0.1mm/rev 同心粗調(diào)3.8mm/rev
三目鏡筒圖像: 正像
瞳距: Siedentopf 型
調(diào)節(jié)范圍: 51 - 76mm
視場數(shù): 24
俯角: 0º - 20º （僅用于 -TH, -THS 型號(hào)）
照明系統(tǒng): 亮視場反射照明（科勒照明、帶孔徑光闌）
光源: 12V100W 光纖、無極亮度調(diào)節(jié)）,
光導(dǎo)長度1.5m、功耗 150W
物鏡 （選件）: M Plan Apo, M Plan Apo SL, G Plan Apo
性能參數(shù)
型號(hào)FS70 FS70-TH FS70Z FS70Z-TH FS70L FS70L-TH FS70L4 FS70L4-TH
貨號(hào)378-184-1 378-184-3 378-185-1 378-185-3 378-186-1 378-186-3 378-187-1 378-187-3
短基座型號(hào)FS70-S FS70-THS FS70Z-S FS70Z-THS FS70L-S FS70L-THS FS70L4-S FS70L4-THS
貨號(hào)378-184-2 378-184-4 378-185-2 378-185-4 378-186-2 378-186-4 378-187-2 378-187-4
對焦50mm 行程，同心焦距粗調(diào)（3.8mm/rev） 和微調(diào)（0.1mm/rev） 手輪（左、右）
圖像正像
瞳距Siedentopf 型、調(diào)節(jié)范圍：51 - 76mm
視場數(shù)24
俯角— 0° 至 20° — 0° 至 20° — 0° 至 20° — 0° 至 20°
透過率50/50 100/0 或
0/100
50/50 100/0 或
0/100
100/0 或 0/100 100/0 或 0/100
保持性濾光片— — 內(nèi)置激光射線濾光片內(nèi)置激光射線濾光片
管鏡頭1X 1X - 2X zoom 1X 1X
適用激光— — 1064/532/355nm 532/355nm
相機(jī)端口C-mount （使用適配器B 選件） 使用帶有電視端口的
激光器
C-mount 插座
（帶有綠色濾光片轉(zhuǎn)換開關(guān)）
照明系統(tǒng)、選件亮視場反射照明（科勒照明、帶孔徑光闌）
12V 100W 光纖、無極亮度調(diào)節(jié)、光導(dǎo)長度：1.5m、功耗 150W
物鏡、選件
（用于觀察）
M Plan Apo, M Plan Apo SL, G Plan Apo
物鏡、選件
（用于激光切割）
— M/LCD Plan NIR,
M/LCD Plan NUV
M Plan UV
載重* 14.5kg 13.6kg 14.1kg 13.2kg 14.5kg 13.6kg 14.1kg 13.2kg
重量 （主機(jī)） 6.1kg 7.1kg 6.6kg 7.5kg 6.1kg 7.1kg 6.6kg 7.5kg
* 光管的載重不包括物鏡鏡頭和目鏡的重量
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